Surf-Cal 尺寸标准微粒

By | 2019年7月13日
Surf-Cal 尺寸标准微粒

Surf-Cal 尺寸标准微粒用于半导体工业的扫描表面监测系统(SISS)的校准,满足SEMI 标准规则要求。 所提供的微粒尺寸包括半导体国际技术蓝图 (ITRS)定义的关键的尺寸节点的大小。

Surf-Cal标准品可用来简化您工厂内校准晶片的准备工作。 可提供的微粒尺寸与仪器生产商要求的校准点大小一致。

将Surf-Cal 系列NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特别选定的晶片上,您就可以执行定期校准检查,并可将您的扫描仪与其他地方的扫描仪进行对比。

您也可以在生产过程中的关键阶段对SSIS 系统进行性能评估。

这一系列标准品悬浮于过滤过的去离子水中,浓度3 x108个微粒 / mL,包装单位:50ml/瓶装。1.112um(货号:PD1100)及以下粒径还提供浓度为1010个微粒/mL 的浓度产品,主要用于微分迁移率分析仪(DMA)或其它尺寸排除技术辅助的领域。

测量方法

为了确保能直接溯源至NIST,这些产品获得认证的直径是通过投射电子显微镜,或光学显微镜由NIST标准参考物质转移而得的。不确定度是根据NIST技术注释1297, 1994版“评估与表达NIST测定结果不确定度的导则”计算而得。认证证书中标明的不确定度值是采用覆盖因子2(K=2)扩展后的不确定度。峰值直径是采用微粒尺寸分布± 2s的范围计算而得。计算的尺寸分布作为峰值的标准偏移图。变异系数是指一个标准差与峰值直径的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占据峰值直径的百分比计算而得的。

Particles Technology Catalog

更多官网详情

Surf-Cal系列微球产品列表:

订购货号产品描述(名称,粒径,浓度,体积)包装单位/瓶
PD-047Surf-Cal系列标准微球,0.047µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-047BSurf-Cal系列标准微球,0.047µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-064Surf-Cal系列标准微球,0.064µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-064BSurf-Cal系列标准微球,0.064µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-083Surf-Cal系列标准微球,0.083µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-083BSurf-Cal系列标准微球,0.083µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-092Surf-Cal系列标准微球,0.092µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-092BSurf-Cal系列标准微球,0.092µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-100Surf-Cal系列标准微球,0.100µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-100BSurf-Cal系列标准微球,0.100µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-125Surf-Cal系列标准微球,0.126µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-125BSurf-Cal系列标准微球,0.126µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-155Surf-Cal系列标准微球,0.155µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-155BSurf-Cal系列标准微球,0.155µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-200Surf-Cal系列标准微球,0.202µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-200BSurf-Cal系列标准微球,0.202µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-204Surf-Cal系列标准微球,0.204µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-204BSurf-Cal系列标准微球,0.204µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-215Surf-Cal系列标准微球,0.220µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-215BSurf-Cal系列标准微球,0.220µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-305Surf-Cal系列标准微球,0.304µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-305BSurf-Cal系列标准微球,0.304µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-365Surf-Cal系列标准微球,0.360µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-365BSurf-Cal系列标准微球,0.360µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-500Surf-Cal系列标准微球,0.494µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-500BSurf-Cal系列标准微球,0.494µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-800Surf-Cal系列标准微球,0.809µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-800BSurf-Cal系列标准微球,0.809µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD-802Surf-Cal系列标准微球,0.802µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD-802BSurf-Cal系列标准微球,0.802µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD1100Surf-Cal系列标准微球,1.112µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD1100BSurf-Cal系列标准微球,1.112µm,1e11,50ml50ml/瓶
PD1600Surf-Cal系列标准微球,1.59µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD2000Surf-Cal系列标准微球,2.01µm,3e8,50ml50ml/瓶
PD3000Surf-Cal系列标准微球,3.04µm,3e8,50ml50ml/瓶

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