Surf-Cal 尺寸标准微粒用于半导体工业的扫描表面监测系统(SISS)的校准，满足SEMI 标准规则要求。 所提供的微粒尺寸包括半导体国际技术蓝图 (ITRS)定义的关键的尺寸节点的大小。
Surf-Cal标准品可用来简化您工厂内校准晶片的准备工作。 可提供的微粒尺寸与仪器生产商要求的校准点大小一致。
将Surf-Cal 系列NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特别选定的晶片上，您就可以执行定期校准检查，并可将您的扫描仪与其他地方的扫描仪进行对比。
您也可以在生产过程中的关键阶段对SSIS 系统进行性能评估。
这一系列标准品悬浮于过滤过的去离子水中，浓度3 x108个微粒 / mL，包装单位：50ml/瓶装。1.112um（货号：PD1100）及以下粒径还提供浓度为1010个微粒/mL 的浓度产品，主要用于微分迁移率分析仪（DMA）或其它尺寸排除技术辅助的领域。
测量方法
为了确保能直接溯源至NIST，这些产品获得认证的直径是通过投射电子显微镜，或光学显微镜由NIST标准参考物质转移而得的。不确定度是根据NIST技术注释1297, 1994版“评估与表达NIST测定结果不确定度的导则”计算而得。认证证书中标明的不确定度值是采用覆盖因子2(K=2)扩展后的不确定度。峰值直径是采用微粒尺寸分布± 2s的范围计算而得。计算的尺寸分布作为峰值的标准偏移图。变异系数是指一个标准差与峰值直径的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占据峰值直径的百分比计算而得的。
Surf-Cal系列微球产品列表：
| 订购货号 | 产品描述（名称，粒径，浓度，体积） | 包装单位/瓶 |
| PD-047 | Surf-Cal系列标准微球，0.047µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-047B | Surf-Cal系列标准微球，0.047µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-064 | Surf-Cal系列标准微球，0.064µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-064B | Surf-Cal系列标准微球，0.064µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-083 | Surf-Cal系列标准微球，0.083µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-083B | Surf-Cal系列标准微球，0.083µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-092 | Surf-Cal系列标准微球，0.092µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-092B | Surf-Cal系列标准微球，0.092µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-100 | Surf-Cal系列标准微球，0.100µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-100B | Surf-Cal系列标准微球，0.100µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-125 | Surf-Cal系列标准微球，0.126µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-125B | Surf-Cal系列标准微球，0.126µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-155 | Surf-Cal系列标准微球，0.155µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-155B | Surf-Cal系列标准微球，0.155µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-200 | Surf-Cal系列标准微球，0.202µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-200B | Surf-Cal系列标准微球，0.202µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-204 | Surf-Cal系列标准微球，0.204µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-204B | Surf-Cal系列标准微球，0.204µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-215 | Surf-Cal系列标准微球，0.220µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-215B | Surf-Cal系列标准微球，0.220µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-305 | Surf-Cal系列标准微球，0.304µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-305B | Surf-Cal系列标准微球，0.304µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-365 | Surf-Cal系列标准微球，0.360µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-365B | Surf-Cal系列标准微球，0.360µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-500 | Surf-Cal系列标准微球，0.494µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-500B | Surf-Cal系列标准微球，0.494µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-800 | Surf-Cal系列标准微球，0.809µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-800B | Surf-Cal系列标准微球，0.809µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-802 | Surf-Cal系列标准微球，0.802µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD-802B | Surf-Cal系列标准微球，0.802µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD1100 | Surf-Cal系列标准微球，1.112µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD1100B | Surf-Cal系列标准微球，1.112µm，1e11，50ml | 50ml/瓶 |
| PD1600 | Surf-Cal系列标准微球，1.59µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD2000 | Surf-Cal系列标准微球，2.01µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |
| PD3000 | Surf-Cal系列标准微球，3.04µm，3e8，50ml | 50ml/瓶 |